中文简体

品名 英文名 分子式 级别 详情信息
UPSSS UPSS UPS EL CP IN
氨水 ammonia NH₄OH 点击查看
* IN工业级
* CP化学纯级
* EL等同于于美国SEMI G1标准,可控制颗粒物(依需求),控制十多种金属元素,单项金属元素控制在300ppb以下。
* UPS等同于美国SEMI G3标准,可控制颗粒物(依需求),控制三十多种金属元素,单项金属元素控制在1ppb以下。
* UPSS等同于美国SEMI G4标准,可控制颗粒物(依需求),控制三十多种金属元素,单项金属元素控制在0.1ppb以下。
* UPSSS优于美国SEMI G5标准,可控制颗粒物(依需求),控制三十多种金属元素,单项金属元素控制在0.01ppb以下。
*表示注解