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UPSSS UPSS UPS EL CP IN
盐酸 hydrochloric acid HCL 点击查看
* IN工业级
* CP化学纯级
* EL等同于于美国SEMI G1标准,可控制颗粒物(依需求),控制十多种金属元素,单项金属元素控制在300ppb以下。
* UPS等同于美国SEMI G3标准,可控制颗粒物(依需求),控制三十多种金属元素,单项金属元素控制在1ppb以下。
* UPSS等同于美国SEMI G4标准,可控制颗粒物(依需求),控制三十多种金属元素,单项金属元素控制在0.1ppb以下。
* UPSSS优于美国SEMI G5标准,可控制颗粒物(依需求),控制三十多种金属元素,单项金属元素控制在0.01ppb以下。
*表示注解