| 品名 | 英文名 | 分子式 | 級別 | 詳細資訊 | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| UPSSS | UPSS | UPS | EL | CP | IN | ||||
| 硫酸 | sulfuric acid | H₂SO₄ | ◆ | ◆ | ◆ | ◆ | 點擊查看 | ||
|
* IN工業級
* CP化學純級 * EL 等同於美國SEMI G1標準，可控制顆粒物（依需求），控制十多種金屬元素，單項金屬元素控制在300ppb以下。 * UPS 等同於美國SEMI G3標準，可控制顆粒物（依需求），控制三十多種金屬元素，單項金屬元素控制在1ppb以下。 * UPSS 等同於美國SEMI G4標準，可控制顆粒物（依需求），控制三十多種金屬元素，單項金屬元素控制在0.1ppb以下。 * UPSSS 優於美國SEMI G4標準，可控制顆粒物（依需求），控制三十多種金屬元素，單項金屬元素控制在0.01ppb以下。 |
*表示注解 | ||||||||
