品名 | 英文名 | 分子式 | 級別 | 詳細資訊 | |||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
UPSSS | UPSS | UPS | EL | CP | IN | ||||
氨水 | ammonia | NH₄OH | ◆ | ◆ | ◆ | ◆ | ◆ | 點擊查看 | |
* IN工業級
* CP化學純級 * EL 等同於美國SEMI G1標準,可控制顆粒物(依需求),控制十多種金屬元素,單項金屬元素控制在300ppb以下。 * UPS 等同於美國SEMI G3標準,可控制顆粒物(依需求),控制三十多種金屬元素,單項金屬元素控制在1ppb以下。 * UPSS 等同於美國SEMI G4標準,可控制顆粒物(依需求),控制三十多種金屬元素,單項金屬元素控制在0.1ppb以下。 * UPSSS 優於美國SEMI G4標準,可控制顆粒物(依需求),控制三十多種金屬元素,單項金屬元素控制在0.01ppb以下。 |
*表示注解 |