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品名 英名 化学式 仕様 詳細
UPSSS UPSS UPS EL CP IN
弗化アンモニウム Ammonium fluoride NH₄F 點擊查看
* IN 工業用
* CP 化学純級
*EL アメリカのSEME G1規格と同等。必要に応じで十数種類の金属元素をコントロールでき、一つの金属元素を300ppb以下にコントロール。
* UPS アメリカのSEME G3規格と同等。必要に応じで三十数種類の金属元素をコントロールでき、一つの金属元素を1ppb以下にコントロール。
* UPSS アメリカのSEME G4規格と同等。必要に応じで三十数種類の金属元素をコントロールでき、一つの金属元素を0.1ppb以下にコントロール。
* UPSSS アメリカのSEME G4規格と同等。必要に応じで三十数種類の金属元素をコントロールでき、一つの金属元素を0.01ppb以下にコントロール。
*注釈